，氧灭菌类属于生物化学氧化反应。臭氧氧化分解了细菌内部葡萄糖所必须的酶；也可以直接与细菌、病毒发生作用，破坏细胞和核糖核酸，分解DNA、RNA、蛋白质、脂质类和多糖等大分子聚合物，使细菌的物质发生通透性畸变，导致细胞的溶解死亡，并且将死亡菌体内的遗传基因、寄生菌种、寄生病毒粒子、噬菌体、支原体及热源（细菌病毒代谢产物、内毒素）等溶解变形死亡。目前社会有传言说臭氧有毒，这可能是对臭氧的特性和应用缺乏了解，其实只有长期吸入高浓度才会对人体有害。家用臭氧机输出量不算大，不可能在较大范围内达到超标浓度。
臭氧消毒的优越性:
1、优于传统消毒模式
臭氧会自行分解为氧气，不产生残留污染，消毒后不需通风换气。常规消毒均需通风换气或化学中和，麻烦而又降低消毒效果。臭氧可直接对食品使用杀菌或防霉保鲜，为干法消毒，简单易行。臭氧杀菌浓度对食品是极微弱的氧化浓度，对食品无害。
2、优于紫外线照射
（1）臭氧到处渗透，没有死角。紫外线只有照射到物体表面且达到一定的照射强度标准才有杀菌效果。食品车间一般比较高大，致使紫外线照射强度远远不够，特别是距离远，照射产生很大死角，如加工案板下部等。臭氧为气体，渗透性强，扩散性好。浓度均匀，没有死角。
（2）杀菌速度快。紫外线照射杀菌需要较长的作用时间，一般要照射6小时以上，而符合标准浓度的臭氧只需开机1小时以上。
（3）高湿度下杀菌效果更好。紫外线照射杀菌在环境相对湿度达到60%以上时，消毒效果急剧下降，湿度达80%以上时反可诱使细菌复活。臭氧则相反，湿度越高，杀菌效果越好。这是由于高湿度下细胞膨胀变薄，其组织容易被臭氧破坏，这一特性对于食品行业中普遍存在的高湿环境特别适合。
（4）有低浓度保洁功能。紫外线照射时生产人员必须离开现场，照射完成后无法用低功率的紫外线照射保洁；臭氧消毒时应关闭门窗，生产人员不应久留所需消毒空间内，应离开现场，消毒完成30分钟后进入空间打开门窗，可以时不时打开臭氧以低浓度臭氧对空间空气进行保洁及增氧。
3、除臭净化效果极好
臭氧依靠极强氧化性能可快速分解产生臭味及其其他气味的有机或无机物质达到脱臭效果，将臭味根源物质分解成无害物质。例如：将氨氧化成二氧化碳和水。
臭氧发生器空间消菌杀毒计算方法：
W=C*V/S
W:实际选用臭氧发生器的产量，单位为g/h
C:车间消毒需保持的臭氧浓度
V：实际臭氧消毒体积
S:臭氧衰退系数0.4208
三十万级取C=2.55ppm=5mg/m3
十万级取C=5ppm=10mg/m3
万级取C=15ppm=30mg/m3
百级取C=20ppm=40mg/m3 无菌
如果一个需要消毒的房间面积100m2,高3m,如果是需要达到万级标准，则需要达到空间浓度30mg/m3,那么需要选用的臭氧发生器的大小为：W=30*100*3/0.4208=21387mg/h,换算为g就是=21.387g,所以就选用20g/h的臭氧发生器。
，臭氧作为一种强氧化剂、消毒剂、精制剂、催化剂等，已经被广泛应用于化工氧化、纺织印染、食品饮料、生物制药、养殖栽培、化妆品等行业。目前欧美大部分国家已经把臭氧技术应用于车间空气消毒、水处理灭菌、果蔬保鲜贮存、除臭脱色等领域。臭氧的氧化能力高于氯而仅次于氟，去除细菌效果是氯气的1.5倍，杀菌速度比氯气快倍。臭氧在常温下自然衰变为氧气，不会产生有害残留，是世界公认的绿色环保消毒灭菌剂。早在1905年，臭氧就用于水处理，解决饮用水的质量问题。
