有机物在等离子体光催化中的氧化降解主要有以下几个过程:
高能电子的作用下了产生氧化性极强的自由基O、OH、HO2。
有机物分子受到高能电子碰撞,被激发及原子键断裂形成小碎片基团或原子。
O、OH、HO2 与激发原子有机物分子、破碎的分子基团、自由基等一系列自由基反应。
等离子体中的离子、电子、激发态原子、分子及自由基都是极活泼的反应性物种,使通常条件下难以进行或速度很慢的反应变得快速,它们再进一步与污染物分子、离子反应,从而使污染物得到降解,尤其有利于难降解污染物的处理。