是将被加热物料本身作为发热体，微波的烘烤作用可以瞬时深入到物料内部，使物料内外同时受热，不需要热传导的过程，所以温升极快，大大缩短了加热时间，所需时间一般为常规方法的1/4左右。
微波五谷杂粮低温烘焙设备属于新型的杂粮熟化设备，现在国内很多五谷杂粮深加工企业都在普遍用这种设备。微波五谷低温烘焙比较便于操作，一个人上料、一个人接料就可以简单操作起来。传统的烤箱、转炉烘焙设备，一操作比较复杂，二烘焙时间也比较长。微波烘焙设备可以适用于黄豆、黑豆、黑米、黑芝麻、糙米、红豆等杂粮系列的熟化加工，熟化时间仅需3-8分钟，另外微波在熟化杂粮的过程中还起到杀菌作用，这样就可以大大延长杂粮保质日期。微波烘焙杂粮还具有微膨化作用，膨化后的杂粮更容易打粉。
传统统的五谷熟化方式一般是热传递的性质，五谷杂粮从表面往里干，这样烘烤出来的五谷杂粮比较硬，而且烤出来的五谷杂粮不太均匀。然而，用新型的微波五谷烘烤设备烤出来的味道会比较好些，首先是微波工作原理和传统的炒锅或者转炉是不一样的，微波工作原理是利用物料本身所含水分吸收微波后自身产热，物料水分越多吸收的微波就越多，这样就达到烘烤\\烘焙五谷杂粮均匀的效果，其次利用微波烘焙出来的五谷杂粮会比较酥软一些，稍微有一点膨化效果，除了上面这些优点，微波五谷烘烤设备还具有去腥作用，微波在工作的过程中会破坏掉五谷杂粮里面氧化酶的活性。综上所述，微波烘烤出来的五谷杂粮比较酥软、比较香。
