低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，是气体在外界能量作用下产生的包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。该技术是利用高压脉冲电晕放电或介质阻挡放电过程中，等离子体内部产生极高化学活性的基团，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，最终转化为CO2、H2O或小分子等物质，从而达到净化废气的目的。因等离子体中的电子平均能量在1eV～10eV，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。
等离子体被称为物质第4形态，由电子、离子、自由基和中性粒子组成。低温等离子体有机气体净化器是利用等离子体。以每秒300万次至5000万次的速度反复轰击异味气体的分子，去激活、电离、裂解废气中的各种成份，从而发生氧化等一系列复杂的化学反应，再经过多级净化，将有害物转化为洁净的空气释放至大自然。等离子有机废气净化器工作原理是采用高压发生器形成低温等离子体， 在平均能量约5eV的大量电子作用下，使通过净化器的苯、甲苯、二甲苯等有机废气分子转化成各种活性粒子，与空气中的O2结合生成H2O、CO2等低分子无害物质，使废气得到净化。经过长期的研究发生，当化学物质通过吸收能量（热能、光子能量、电离），可以使自身的化学性质变得更活跃甚至被裂解。当吸收的能量大于化学键能，即可使化学键断裂，形成游离的带有能量的原子或基团。
废气由收集气管收集，由风机送入FSD-DLZ低温等离子体废气处理设备，经过滤后进入低温等离子反应模组，高压脉冲放电产生的大量的高能电子、离子和自由基等活性粒子，将废气氧化分解，净化后的废气经排放管道达标排放。
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