离子氧化法废气处理工艺。低温等离子法系通过低温下高压放电从而电离空气产生继固、液、气之后第四种状态即等离子态，该状态具有高度活泼及氧化性，对废气中气态污染物进行氧化分解从而去除。离子氧化法根据产生离子、氧化分子及自由基的原理不同，可分为电晕放电等离子系统、介质阻挡等离子系统。离子法氧化工艺具有占地面积小、能耗低、投资少及运营管理简便、全智能控制、无需专业人员操作等特点。
1）布袋除尘器、旋风除尘器废气处理工艺。该工艺占地面积小、能耗低、投资少及运营管理简便，全智能控制，无需专业人员操作；该装置主要针对处理颗粒态废气。
2）三相反应塔废气处理工艺。该工艺占地面积小、能耗低、投资少及运营管理简便，全智能控制，无需专业人员操作，洗涤循环水可重复使用，减少污染物转移排放；该工艺主要针对处理废气中含有大量酸性、碱性污染气体。
3）组合处理工艺，即使用多种工艺进行废气处理，如再生铝行业熔铝炉废气处理工艺：再生铝熔铝炉排放废气成分复杂温度高且含有酸性气体和大量粉尘以及沥青油烟颗粒物，根据这一废气特征首先采用旋风除尘器，再通入机力冷却器，然后再通入三相反应塔，后接入湿式静电油烟净化器。
