采用脉冲高压高频等离子体电源和齿板放电装置，使其产生高强度、高浓度、高电能的活性自由基，在毫秒级的时间内，瞬间对有害废气分子进行氧化还原反应，将废气中的大部分污染物降解成二氧化碳和水及易处理的物质。
等离子废气净化原理：
低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。一般气体放电，将会产生等离子，而这种放电现像就是通过某种机制使一个或者多个电子从气体原理或分子中分离出来，形成气体媒质，这种媒质就称为电离气体，如果外电场产生了电离气体，传导电流就形成了，这种现象就被称为气体放电。而这种净化设备的技术，就是工业废气处理的一种原理。
性能特点
1）水洗式废气处理系统，价格便宜、处理方法简单；
2）直立式结构最适用于经济空间安装；
3）适用于气态及液态污染源；
4）处理单一污染源；
5）适用于中低风量；
适用范围
1）各种有害气体如H2S、SOX、NOX、HCI、NH3、CI2等气体之处理；
2）垃圾中转站或场、污水处理场之除臭装置；
3）半导体光电业之制程排气处理；
4）垃圾填埋场之渗出水贮留池废气处理；
5）焚化炉及工业炉等排放之废气处理。
