采用低温等离子体分解气体污染物时，等离子体中的高能电子起决定性作用。数万度的高能电子与气体分子（原子）发生非弹性碰撞，将能量转化成基态分子（原子）的内能，发生激发、离解、电离等一些列过程，使气体处于活化状态。电子的能量较低时，产生活性自由基，活化后的污染物分子经过等离子体定向链化学反应后被脱除。当电子平均能量超过污染物分子化学键结合能时，分子键断裂，污染物分解。
低温等离子净化工艺
通过收集管道将废气气体送入等离子净化设备内，利用低温等离子体分解气体污染物的原理对烟雾、异味废气进行处理，从而达到消除废气异味的目的。机床加工产生油雾废气如何处理机床车间烟气废气净化措施
