水环真空机组以罗茨泵 为主泵,以水环泵为前级泵串联而成的。水环真空机组选用的水环泵成为前级泵比其它的真空泵更为有利,因为它不但克服了单台水环泵使用时极限压力差(机组的极限压力比水环泵的极限压力有很大的提高),在一定压力下抽气速率低的缺点,而且与此同时又保留了罗茨泵能迅速工作,有比较大抽气速率的优点。它能够适应抽除大量的可凝性蒸汽,尤其是当气镇油封机械真空泵排除可凝性蒸汽能力不够,或使用的溶剂能使泵油恶化进而影响性能,或者是真空系统不允许油污染时更为明显。如果配有防爆电机及电器时并遵守相应的安全规则下,还能够抽除易燃易爆的气 。
一台泵与一台水环泵的极限压力是400Pa,这可以满足一般的真空需求,但它使用的范围会受到一定的限制,如果用两台罗茨泵串联再与水环泵组合,就可以大大提高机组的极限压力(可以达到25Pa)。因此在这种类型里通常见到的是两台罗茨泵串联后再用双级泵作前级泵组成机组。如果需要更高的极限压力,可以使用三台罗茨泵与水环泵组合,它的极限压力可以达到1Pa。
倘若三级水环机组还是不能满足极限压力的时候,我们可以采用水环泵并联机械真空泵。这个机组主要用于需要处理大量水蒸汽,时间长且极限真空度要求非常高的抽真空系统,比如在真空干燥方面。