等离子体反应区富含极高的物质，如高能电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发生反应，使污染物质在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到讲解污染物的目的。与传统的电晕放电形势产生的低温等离子技术相比较，等离子体技术放电密度是电晕放电的1500倍，这就是传统低温等离子体技术治理工业废气99%以失败而告终的原因。
1、利用高能高臭氧紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对有机气体及其它性异味有立竿见影的效果。有机性气体利用排风设备输入到本净化设备后，运用高能紫外线光束及臭氧对有机（异味）气体进行协同分解氧化反应，使有机气体物质其降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。
2、催化剂（二氧化钛）在受到紫外线光照射时生成化学活泼性很强的超氧化物阴离子自由基和氢氧自由基，攻击有机物，达到降解有机物的作用。二氧化钛属于非溶出型材料，在彻底分解有机污染物和杀灭菌的同时，自身不分解、不溶出，光催化作用持久，并具有持久的杀菌、降解污染物效果。
1、高效降解有机化学物：能高效去除挥发性有机物（VOC）、无机物、硫化氢、氨气、硫醇类等主要污染物，以及各种恶臭味，脱臭效率可达99.9%以上，脱臭效果大大超过1993年颁布的恶臭污染物排放标准（GB
2、无需添加任何物质：只需要设置相应的排风管道和排风动力，使气体通过本设备进行脱臭分解净化，无需添加任何物质参与化学反应。
3、适应性强：可适应高浓度，大气量，不同有机化学气体物质的净化处理，可每天
24小时连续工作，运行稳定可靠。
4、运行成本低：本设备无任何机械动作，无噪音，无需专人管理和日常维护，只需作
定期检查，本设备能耗低，（每处理1000立方米/小时，仅耗电约0.1度电能），设备风阻极
低＜30pa,可节约大量排风动力能耗。
5、无需预处理：废气无需进行特殊的预处理，如加温、加湿等,设备工作环境温度在
摄氏-30℃～95℃之间，湿度在40%～98%之间均可正常工作。
6、设备占地面积小，自重轻：适合于布置紧凑、场地狭小等特殊条件。
在对大气污染治理日益重视的情况之下，大的设备厂房都会被强制加装废气除臭设备，而设备使用为广泛的就是UV光解除臭，不仅能够确保废气得到良好的处理，而且初期投资的设备资金也不多。那么在使用UV光解除臭设备的过程中应该注意哪些方面呢？
首先就是要确保传输的过程顺利。进入UV光解等离子除臭设备的管段应该光滑，并且要有一段直管，确保废气进入设备的时候能够形成稳定的恒流，使用的传输管道好是用金属软管连接，以确保产生小的震动效果。
还有就是应该在风机的前段装设风量控制装置，大部分厂商都会采用风机变频器或者空气控制阀来调节风量，因为想让UV光解除臭的处理优势发挥到大，进入设备的风量应该是稳定的，而且风量要平稳过渡，如果风量时大时小，不仅废气处理效果不佳，而且对除臭设备也会造成一定的影响。
还有就是要确保留出设备的检修以及维护空间。设备应该在顶部装设防雨措施，设备长时间的运转肯定会有坏，如果不留出检修的空间，到时候就得把设备全部拆开，而这个工作量还是比较大的。
后就是要做好放电接地。因为UV光解除臭设备也属于高压设备，所以应该在运行维护或者设备检修时都做好防点击事故措施。
如现在使用为普遍的150W U形臭氧紫外线灯管，在氧气充足的条件下，每小时的臭氧产生量约为900mg左右，即其单位功率每小时的臭氧产生量仅为6mg/w。而臭氧作为光解反应中的一种主要的反应物质，其产生量的多少，直接影响着处理效果的好坏。 等离子技术，是利用高压的电场，使空气中的O2电离产生O3，其臭氧产生效率要比紫外灯管高很多。但等离子管几乎不发射出紫外线。缺少了紫外线的催化作用，在单纯采用等离子工艺的废气处理装置中，臭氧与有机废气的反应变得缓慢困难，同样制约了设备的处理效能。
光氧等离子设备和技术是在原电晕放电基础上由高频高压电场通过_放电产生的新一代低温等离子体技术具有能量高、电子发射密度高等特点。
