采用低温等离子体分解油雾、废气等污染介质时 ,等离子体中的高能离子起决定性的作用。流星雨状的高能离子与介质内分子(原理)发生非弹性碰撞,将能量转化成基态分子(原子)的内能,发生激发、离解、电离等一系列过程使污染介质处于 活化状态。污染介质在等离子体的作用下,产生活性自由基,活化后的污染物分子经过等离子体定向链化学反应后被脱除。当离子平均能量超过污染介质中化学键结合能时,分子链断裂,污染介质分解,并在等离子发生器吸附场的作用下被收集。在低温等离子体中,可能发生各类型的化学反应,这主要取决于等离子的平均能量、离子密度、气体温度、 污染物介质内分子浓度及共存的介质成分。
