主要采用脉冲高频高压等离子体电源和双介质齿板放电装置，尖端放电形式产生高浓度离子。等离子体是一种聚集态物质，其所拥有的高能电子能在毫秒级的时间内，瞬间击穿空气和废气分子，发生一系列分化裂解反应，产生高浓度度高能量的活性自由基和各种电子离子等，在与机废气中的分子碰撞时会发生一系列基元物化反应，并在反应过程中产生多种活性自由基和生态氧，即臭氧分解而产生的原子氧。活性自由基可以有效地破坏各种中的核酸，蛋白质，使其不能进行正常的代谢和生物合成，从而致其死亡；而生态氧能迅速将有机废气分子异味气体分解或还原为低分子无害物质；另外，借助等离子体中的离子与物体的聚合吸附作用，可以对小至亚微米级的细微有机废气颗粒物进行有效的吸附沉降处理。
1为保证设备的净化效率，风机应设在废气净化器的后面。
2废气净化器如安装在支架之上时，应与支架紧固连接；与排气管道之间的连接必须密封。
3废气净化器应安装在室外，有足够的空间用来维护与维修；室外安装时，应加装防雨遮阳的遮阳篷，以免影响废气净化器的正常使用寿命以及增加不必要的维护费用。
4为保证废气净化器的净化效率，与设备出入风口连接的变径风管要尽量平顺。
5废气净化器箱体应安全可靠接地，安装过程中不允许磕碰电极,严禁异物落在净化器内等。
光解式废气净化设备是一种专门去除有毒有害气体及恶臭气体的一种装置，它采用的是通过高能C波段紫外线激光破坏分解催化氧化的作用，产生臭氧后通过臭氧中的氧分子产生活性熏对恶臭气体以及VOC等有机废气以及性异味有很好的效果，广泛应用于有恶臭气体有而体异味等气体的处理。它具有高效率运行成本低设备占地面积小，自重轻无噪音等特点，是目前市场上畅销的有机废气处理设备。
压板废气处理UV光解净化器现场安装示意图光氧废气处理装置(一重破坏分解，三重催化氧化)：
