工业废气利用排风设备输入到本净化设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束及臭氧对工业废气进行协同分解氧化反应，使工业废气降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过拜见管道排出室外。利用高能UV光束裂解工业废气中的分子键，破坏,再通过臭氧进行氧化反应，达到净化及杀灭的目的。
光氧催化废气处理装置采用紫外线光源对废气分子链进行净化的专业技术，运用253.7纳米波段光切割、断链、燃烧、裂解废气分子链，改变分子结构，为第一重处理；取185纳米波段光对废气分子进行催化氧化，使破坏后的分子或中子、原子以O3进行结合，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在催化氧化过程中，转变成低分子化合物CO2、H2O等，为第二重处理；再根据不同的废气成分配置7种以上相对应的惰性催化剂，催化剂采用蜂窝状金属网孔作为载体，全方位与光源接触，惰性催化剂在338纳米光源以下发生催化反应，放大10-30倍光源效果，使其与废气进行充分反应，缩短废气与光源接触时间，从而提高废气净化效率，催化剂还具有类似于植物光合作用，对废气进行净化效果，为第三重处理，通过三重处理后的废气其除臭高可达99%以上，净化、脱臭效果大大超过1993年颁布的恶臭污染物排放标准.
利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV＋O2→O-+O＊(游离氧)O+O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对工业废气及其它性异味有立竿见影的效果。恶臭/工业废气利用排风设备引入到本净化设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束及臭氧对工业废气进行协同分解氧化反应，使工业废气物质其降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。利用高能UV光束裂解工业废气中的分子键，破坏的，再通过臭氧进行氧化反应，彻底达到脱臭及杀灭的目的。（下图所列为工艺说明）废气分子光解氧化说明示意图。
UV光氧催化设备也称为光氧催化废气净化器，其技术特点：
1．无毒无任何副作用，完全超越了传统的臭氧等空气净化器，能在有人在场的环境中持续灭菌、除尘，对人体无毒副作用。能广谱地截获杀灭空气中的各类，测试证明对军团菌、金黄色葡萄球菌、枯草杆菌、黑色变种芽孢及自然菌杀灭率达99.9％以上，有效去除可吸入颗粒，达到1-10万级洁净度。
2．污染有害气体异味，初级电子在电场中获得加速，撞击空气中的氧分子。等离子废气净化器当能量超过氧分子的电离电位时氧分子迅速离子化。失去电子的氧分子变成正极性氧离子（O2+），而释放的电子又与另一中性氧分子结合变成负极性氧离子（O2－），结果是氧离子的两级分化并吸附中性氧分子形成O2+、O2－、O2等氧聚集的离子群，具有极强的氧化性，可在很短的时间内将污染空气中的有害成分氧化分解为无害的产物和水。
实践证明，一定浓度污染空气中的大部分有害物质能在很短的间内被氧化分解，转化率平均在90％以上。
