在线扬尘实时监测设备免费云平台1)MEMS技能和新一代固态传感器微构造制作技能:深反应离子刻蚀(DRIE)技能或IGP技能;封装技能:如常温键合倒装焊接、无应力微薄构造封装、多芯片拼装技能;新式传感器:如用微硅电容传感器、微硅质量流量传感器、航空航天用动态传感器、微传感器,轿车专用压力、加快度传感器,环保用微化学传感器等。
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