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随着洁净技术的发展，高效空气过滤器无论是过滤材料、结构形式、密封材料、外框材质以及检测方法变化发展很快，尤其是集成电路生产的日新月异，要求生产环境达到控制微粒直径为0.05 - 0.1μm，空气洁净度等级要求1级甚至更为严格，并且还要控制生产环境中的分子级化学污染物、重金属污染物等。
在这方面国内外的科研、设计和制造厂家都做了大量研究开发工作，取得了许多可用的成果，但是国产高效过滤器的产品与国际先进产品相比仍有较大差距，尤其是用于比5级(100级)和要求更严格的洁净室用高效过滤器、超高效过滤器的质量、检测方法等方面存在着较大差距。
我国的国家标准GB 13354-92《高效空气过滤器》中规定，高效过滤器是采用钠焰法检测，其效率达到99.9%以上的过滤器;或对粒径)0.15m的微粒采用粒子计数测定法，其效率达到99.999%以上的过滤器。
