等离子废气处理设备是一种对室内空气型的空气净化装置，同时它也能去除空气中的可吸入颗粒物和多种生物异味。等离子废气处理设备在工作时会产生臭氧，由臭氧分解出生态氧，而臭氧是一种公认的 空气剂，但达到 浓度时对人体也，不臭味，也可能致癌。我国GB/T 《室内空气质量标准》中规定臭氧的浓度限值0.16mg/m3。现在有许多等离子废气处理设备采用了间歇释放等量臭氧和负离子的 技术，由于臭氧的释放是间歇性的，并且释放的时间很短，因此可以做到既能持续、病毒，又使空气中的臭氧浓度保持在 水平内，因此一般不会对人体造成什么危害。
采用低温等离子体分离油雾、废气等污染介质时，等离子体中的高能离子起决定性的作用。流星雨状的高能离子与介质内分子（原理）发生非弹性碰撞，转化成基态分子（原子）的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程使污染介质处于状态。污染介质在等离子体的作用下，污染物分子经过等离子体定向链化学反应后被脱除。当离子超过污染介质中化学键结合能时，分子链断裂，污染介质分离，并在等离子发生器吸附场的作用下被收集。在低温等离子体中，可能发生各类型的化学反应，这主要取决于等离子的平均、离子密度、气体温度、污染物介质内分子浓度及共存的介质成分。
