AEROTECH直驱旋转精密旋转平台

ADR系列直接驱动精密转台提供精确的角度定位和速度控制。

应用范围包括高速激光加工和硅片精密检测。 

特点： 

1.无刷力矩电机直接驱动 

2.无齿槽设计提供卓越的速度稳定性 

3.极佳的运动性能，误差小，无抖动 

4.直连式高精度圆光栅反馈 

5.高精度机械轴承支撑 

6.载荷可达150kg 

台面直径：57~240mm 

反馈分辨率：0.036~13 arc sec 

双向重复定位精度： 1arc sec 

定位精度： 2 arc sec 

轴跳： 0.5um 

径跳： 1um