NE-PE150F是一款大型工业用真空等离子处理系统，设备配备大功率、大腔体、密度大、高稳定性，适用于大规模连续生产。设备采用进口品牌高性能真空泵快速产生超低的真空压强。同时根据客户工艺要求，对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体，采用进口高品质等离子发生器，使得通入的工艺气体产生等离子体，并确保稳定产生高密度，高能量的离子。等离子体与材料发生复杂的物理，化学反应，可以实现不同的工艺功能，比如清洗，活化，刻蚀与涂敷等。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光。
v 抽真空系统包含真空泵、真空测量仪、真空管道等。
v 真空泵抽真空时间≤60S，真空度可达20PA以内。
v 工作真空度：20-30Pa，可自动进行压力控制。
v 破真空时间：≤30s。
v 真空探测仪采用电阻式皮拉尼真空计，使用寿命长，探测精准。
v 真空管道采用316不锈钢材质稳定可靠。
设备优势
ü 腔体采用进口铝合金材质，无金属污染；
ü 通过COMSOL专业仿真模拟测试，结合多次验证结果，得到最优腔体结构设计，保证清洗效果和均匀性；
ü 每层极板配备托盘，有效避免离子溅射，保证处理可靠性；
ü CCP放电模式，全自动匹配RF射频电源；
ü 独特的腔体进气系统，进气均匀，保证电离效果均匀性；
ü 出厂前氦气检漏仪捡漏，保证腔体密封性；
ü 进气、抽气、破真空全独立系统，且破真空系统可接氮气，确保腔体气体清洁性；
ü 真空泵出口加装排气装置、过滤器。
