KYOSAN电源维修RFK150ZDTG1射频电源

  • 发布时间:2024-04-10 14:24:02,加入时间:2021年11月05日(距今896天)
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KYOSAN电源维修RFK150ZDTG1电源控制器BKW-100

维修范围:刻蚀、RIE、平行板、ICP、pecvd、射频溅射、CVD 和PVD等系统,工业系统中感应加热和电介质加热设备的电源,烘干、塑化、接、硅晶体生长和平板显示器领域应用电源,直流偏压和硬镀膜,信息技术设备(ITE)及轻工业系统设备,同时对仪器电源提供检测维修,服务于太阳能光伏、PVD镀膜,半导体薄膜、离子注入、刻蚀,平板显示,光盘、光电子LED等制造设备以及科研院校、技术研究所等行业。

射频电源常见故障及维修:

故障现象1:打开电源,电源指示灯不亮;

故障现象2:电源灯亮了,预热灯不亮;

故障现象3:电源灯亮了,预热灯亮、辉光亮,匹配器功率及反射功率,电源的功率指示和电流指示不正常。(正常的功 率指针指到220,电流指示0.4)

故障现象4:电源灯亮了,预热灯亮,辉光不亮;

故障现象5:无功率输出;

故障现象6:有功率输出,但是调不大,或是调不到正常值。

故障现象7:无反射功率,或反射功率过大,射频功率源坏;

KYOSAN电源维修RFK150ZDTG1射频电源

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