VYPER 系列激光器是专为准分子激光退火 (ELA) 设计的多光束高功率准分子激光器。高分辨率移动显示器制造的高质量需求需要高品位低温多晶硅 (LTPS) 该多晶硅 (LTPS) 只能使用准分子激光器制造。
这些激光器非常适合高功率 LineBeam 750 (VYPER)、LineBeam 1000 (TwinVYPER) 和 LineBeam 1500 (TriVYPER) 光学器件。
COHERENT准分子激光器VYPER TwinVYPER TriVYPER COHERENT VYPER TwinVYPER TriVYPER 性能特点
非常高的UV 功率 可实现高通量应用
能量稳定性 确保高产量
EquiSwitch 同步提供低的抖动
激光数据采集可实现过程控制
密封和净化的光束路径 可实现稳定的长期运行
用于控制和快速数据采集的以太网接口
COHERENT准分子激光器VYPER TwinVYPER TriVYPER COHERENT VYPER TwinVYPER TriVYPER 技术参数
COHERENT准分子激光器VYPER TwinVYPER TriVYPER COHERENT VYPER TwinVYPER TriVYPER
产品应用
准分子激光退火
脉冲激光沉积
VYPER TwinVYPER TriVYPER
