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氩气是无色、无味、单原子的惰性气体,氩气的重量是空气的1.4倍,可在熔池上方形成一层稳定的气流层,具有良好的保护性能,另外在焊接过程中,产生的烟雾较少,便于控制焊接熔池和电弧。
氩气的主要应用于焊接、不锈钢制造、冶炼,还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等,用作ICP,气相色谱仪等仪器的载气,标准气、平衡气、零点气等。
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