单晶硅微波烘干设备概念 单晶硅烘干设备主要用于单晶硅与多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工艺处理。 单晶硅烘干设备特点
1,本系列单晶硅烘干设备主要用于单晶硅与多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工艺处理。
2,本系列烘干设备采用数显温度调节仪进行温度控制、控温灵敏、操作简便、性能可靠,数字直接显 示出工作温度,直观易读。
3,本系列烘干设备采用隧道式流水线传输带烘干方式,烘干速度快,在3分钟内烘干温度可以提高到135℃-150℃,物料烘干温度可在80℃至250℃之间任意选择;能自动切断电源,提高效率,节能,保护设备和产品。
4,该设备具有物料与金属完全不接触,改善传统烘干环境,提高产品质量。
工作原理
单晶硅隧道箱体结构: 设计完美,箱体采用数控机床加工成型,操作容易。内胆采用SUS304不锈钢板,外壳为全不锈钢设计制造,更显光洁、美观。电路系统侧采用门式开启,方便维护和检修。
单晶硅烘设备控制执行系统: 温度控制器采用触摸按键、数显LED显示、PID智能控制仪表; 采用美国雷泰红外测温技术,温度准确度±2℃。
单晶硅烘设备保护系统: 整机保护系统由超温保护及报警装置构成。保证了执行元器件及试件的完好。设备自动化程度高,节省劳动力,提高生产效率,是生产不可缺少的好帮手。