简单的等离子体处理VOCs废气工艺流程
等离子体反应器结构示意
低温等离子体与静电吸附耦合
静电收集器（ESPs）可对空气中的众多种类离子进行吸附，在很大程度上可以减轻等离子反应器的负担，并可对等离子净化过程产生的CO2、H2O进行吸附，所以采用二者结合的装置可较大提高效率。用等离子体反应与静电吸附结合拓宽了净化粒子范围，系统耗电少，电流密度<0.3mA /m2；但初期投资较大。干燥时净化效率比潮湿时高，因水分子较多时，有较大部分能量用于分解水。
2.5 光催化氧化技术
2.5.1 光催化机理与催化工艺
光催化降解VOCs属于多相催化反应，是气相反应物（VOC）与固相光催化剂的表面进行接触而发生在两相界面上的一种反应。该过程一般可分为以下六个步骤：
光催化降解VOCs反应步骤图
文献中涉及较多的光催化反应器的结构形式主要包括：平板型、管状、蜂窝型和光纤反应器等。下图列举了三种常见的反应器形式。
