可靠、优异、紧凑的执行器助您优化机器设计并节约能源
提供更高效的特殊应用环境解决方案
绝对精度可达<0.03mm、重复定位精度可达±0.01mm
工作环境温度:-50℃至+120℃
特殊环境下智能装备直驱运动控制解决方案
具有高精度、高刚性、低轴向径向跳动等优点
绝对精度可达±10arc-sec、重复定位精度可达±0.5arc-sec
广泛应用于半导体生产、液晶制造、汽车装配/检测、屏幕贴合、光学对位、定位
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