等离子体被称作除固态、液态和气态之外的第四种物质存在形式。等离子体是由电子、离子、自由基和中性离子组成的导电性流体，整体保持电中性。按离子的温度，等离子体可分为热平衡等离子体（热等离子体）和非平衡等离子体（低温等离子体）。在热平衡等离子体中，电子与其他离子的温度相等，一般在5000K以上；在非平衡等离子体中，电子温度一般要高达数万度，而其他离子的温度只有300—500K。
采用低温等离子体分解气体污染物时，等离子体中的高能电子起决定性作用。数万度的高能电子与气体分子（原子）发生非弹性碰撞，将能量转化成基态分子（原子）的内能，发生激发、离解、电离等一些列过程，使气体处于活化状态。电子的能量较低时，产生活性自由基，活化后的污染物分子经过等离子体定向链化学反应后被脱除。当电子平均能量超过污染物分子化学键结合能时，分子键断裂，污染物分解。等离子体去除废气污染物的基本过程
