喷淋式废气处理设备
此装置是一个A B两单元模,组组成的湿法化学喷淋清洗系统，此系统进行除三氯化硼、四氯化硅、氯气、氨气和硅烷（SiH 4）的及金属有机物化学物质也被分解在洗涤单元中。系统主要组成单元为：WFB1 WFB2容器箱（预估90L）、液体,流量计、磁力泵、喷淋装置、除雾器装置、废气应急旁通管路、活性炭过滤器等。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件，性能可靠，使用寿命长；顶部及背部设有吸风口，为防止污染空气，用户需外接风管抽风。技术数据:气体总流量<1.8mn3/小时；废气：三氯化硼、四氯化硅、氯气、氨气、硅烷（SiH4）在H2中为2％；清洗中和溶液及装置:循环泵：日本IWAKI品牌磁力泵；喷淋装置：PPH管道及PPN材质喷淋嘴；流量计：美国DWYER品牌的流量计；容器箱：数量2个（WFB1、WFB2）；材质：德国聚丙烯（PP）；容积：预估90升；设备制造：北京华林嘉业科技有限公司（CGB）.
