激光调阻机的成功研制对推动我国微电子行业的产业升级起到重要作用。激光调阻机是利用激光技术对厚、薄膜电路进行修调,以得到高精度的电阻值或精准的输出信号。公司生产的激光调阻机全部拥有自主知识产权,采用高质量的激光源和精密的测量系统,空气悬浮平面运动机构,各项性能指标达到先进水平,是取代进口产品之首选。
一、激光调阻机技术参数
激光部分 |
型号规格 |
LT5110 |
LT7130 |
激光波长 |
1064nm |
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激光功率 |
10W |
20W |
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典型光斑尺寸 |
35±5µm |
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对焦方式 |
计算机程序控制 |
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冷却方式 |
风冷 |
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激光束定位系统 |
激光束运动范围 |
50mm X 50mm |
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运动分辨率 |
0.76µm |
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重复定位精度 |
±2.5µm |
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分步重复机械运动系统 |
运动方式 |
空气悬浮运动,无摩擦力 |
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运动范围 |
290mm*260mm |
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重复定位精度 |
±2µm |
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运动速度 |
900mm/s |
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测量系统 |
电阻测量方式 |
四线制测量或二线制测量 |
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电阻测量精度 |
最中阻0.02% |
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电阻测量范围 |
0.1Ω-100MΩ |
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电阻测量速度 |
25µs |
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零点及满程误差校正 |
外接标准电阻板软件自动校正 |
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探针定义 |
可编程任意设定 |
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探针板运动 |
计算机程序控制 |
二、激光调阻机优良的设备性能
•进口核心部件:采用进口光纤激光器与平面电机,整机性能稳定可靠。
•调阻精度高:调阻精度可达0.1%,可直接进行毫欧级电阻的测量并调阻,独特的精度控制方式保证了调阻精度的一致性。
•调阻效率高:调阻速度相对国内其它激光调阻产品有大幅度的提高,达到国际水平。可参考“成功案例”栏目中的视频演示。
•软件可编程:具有业界强大的软件编程功能,可面向各种应用领域进行功能调整,轻松实现客户的特殊需求以及高效自动化运行。可对激光功率、运动、测量量程等实现编程自动控制,拥有比例跟踪修调功能。
•功能强大:一机多用—可同时实现激光调阻与陶瓷基底划片。
三、激光调阻机广泛的应用领域
广泛应用于厚膜电路、薄膜电路的精密调节。如通讯、汽车电子、传感器、航空航天、片式电阻、工业电子、军工科研等行业。
四、完善的服务
我们建立了全球服务信息处理系统,24小时跟踪客户。
一、自购买到货之日起,终身享受软件免费升级。
二、自购买之日起,随时可以到公司免费参加各种技术培训班。
三、在国内维修服务点,300公里以内,我们承诺24小时内上门服务并维修,300公里以外72小时内维修。国外的客户我们在10小时以内做出回复,72小时内做出维修服务。
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