罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似，由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。
由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。
罗茨真空泵（简称罗茨泵）是一种旋转式变容真空泵。它是由罗茨鼓风机演变而来的。根据罗茨真空泵工作范围的不同，又分为直排大气的低真空罗茨泵；中真空罗茨泵（又称机械增压泵）和高真空多级罗茨泵。
一般来说，罗茨泵具有以下特点：
在较宽的压强范围内有较大的抽速；
起动快，能立即工作；
对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感；
转子不必润滑，泵腔内无油；
振动小，转子动平衡条件较好，没有排气阀；
驱动功率小，机械摩擦损失小；
结构紧凑，占地面积小；
运转维护费用低。
因此，罗茨泵在冶金、石油化工、造纸、食品、电子工业部门得到广泛的应用。
