低温等离子法：利用介质放电产生的等离子体以极快的速度反复轰击废气中的气体分子，去激活、电离、裂解废气中的各种成分，通过氧化等一系列复杂的化学反应，使复杂大分子污染物转变为一些小分子的安全物质(如二氧化碳和水)，或使有毒有害物质转变为无毒无害或低毒低害物质。
活性碳吸附装置性能特点：运行过程不产生二次污染；设备投资少、运行费用低；性能稳定、可同时理多种混合气体，净化效率≥95%；采用新型活性碳吸附材料作为吸附剂，具有阻力低、寿命长、净化效率高等优点；活性碳吸附装置可以依据废气处理特性及客户需求，进行个案设计定制。
活性碳吸附装置适用范围：该装置运用于大风量低浓度的有机废气处理，可处理苯类、酮类、醇类、、烷类及其混合类有机废气，主要用于化工、机械、电子、电器、涂装、制鞋、橡胶、塑料、印刷及各种工业生产车间产生的有害废气的净化处理。活性碳吸附塔，系利用高性能活性碳吸附剂固体本身的表面作用力，将有机废气分子之吸附质吸引附着再吸附剂表面，能对苯、醇、酮、酯、汽油类等有机溶剂的废气吸附，更适用于大风量低浓度的废气治理，适用于电子、化工、轻工、橡胶、油漆、涂装、印刷、机械、船舶、汽车、石油等行业。
该法消耗低，具有装置简单，易于操作，占地面积小，使用方便等优点，但是在实际应用中存在着净化效率低的问题。由于是一项新技术，人们对于其作用机理研究不够充分，还没有形成规律性认识，很多企业只是在模仿这项技术，并没有真正掌握真正的核心技术。
