等离子体法
当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，以达到降解污染物的目的。有机化合物终产物为 CO2、CO和 H2O。若有机物是氯代物，则产物应加上氯化物，而无中间副产物。降低了有机物的毒性，同时避免了其他方法中的后期处理问题。适于处理风量大、组分复杂的 VOCs气体，特别适用于恶臭气体的处理。
活性炭吸附法处理工业废气他是前期投资小，运行不稳定，饱和后期运行成本高；要求待处理的废气有较低的温度和含尘量。
活性炭吸附法与其他处理方法联用，出现了臭氧-活性炭法、混凝-吸附活性炭法、Habberer工艺、活性炭-硅藻土法等，使活性炭的吸附周期明显延长，用量减少，处理效果和范围大幅度提高。
2.2 催化燃烧技术
催化燃烧是把有机废气加热到启燃温度，在催化剂的作用下进行无焰燃烧，生成二氧化碳和水并释放大量热量。
2.2.1 催化剂的选择
催化燃烧催化剂为固体催化剂，由载体、涂层和活性组分三部分组成。下面就从这三个方面分别加以阐述。
（1）载体
载体除了分散活性组分，也具有调节催化性能的作用。尤其是载体表面的酸性中心具有活化VOCs的作用。
由于A12O3比表面大，且具有催化作用所需要的孔结构，因此被广泛用作各类催化剂的载体。但是，氧化铝存在压力降和热容大、耐热性差、强度低并易破碎等缺点，而且在高温环境下，会转变成热力学上稳定的α-Al2O3，从而导致催化剂活性下降。此外A12O3容易与过渡金属组分生成铝酸盐，这也是目前很难克服的问题。
