含有机物的尾气首先经预处理装置处理净化然后进入吸附床净化其中的有机物被活性炭（纤维）吸附来净化净化后的气体从吸附床底部由引风机排空。
吸附饱和的吸附床用低压蒸汽进行脱附。蒸汽由吸附床底进入净化穿过吸附剂净化将被吸附的有机物脱附出来并带出吸附床进入冷凝器；在冷凝器中净化有机物和水蒸汽的混合物被冷凝来流入分水箱；在分水箱内净化有机物和水通过重力分层净化分层后有机物予以回收（如有机物溶于水则需精馏后再回用）。吸附床完成脱附并经干燥再生后净化切换回吸附状态净化从而完成一个操作循环。整个过程几个吸附床连续交替、循环运行。
等离子废气净化原理：
低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。一般气体放电，将会产生等离子，而这种放电现像就是通过某种机制使一个或者多个电子从气体原理或分子中分离出来，形成气体媒质，这种媒质就称为电离气体，如果外电场产生了电离气体，传导电流就形成了，这种现象就被称为气体放电。而这种净化设备的技术，就是工业废气处理的一种原理。
设备反应过程中能量的传递大致如下：
(1) 电场+电子→高能电子
(2) 高能电子+分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基团
(3) 活性基团+分子(原子)→生成物+热
(4) 活性基团+活性基团→生成物+热
等离子废气净化器
等离子净化器功能特点：
1. 具有一次性净化效率高，能同时净化多种污染物;
2. 防火性能采用开关，电源，电路三重自动保护，持久的净化功能，无须专人看管。
3. 设备体积小，结构紧凑，工艺成熟。
4. 设备投资少，运行成本低。
5. 安全稳定，维护方便，使用寿命长
