热场均匀性控制采用多温区独立PID算法，温差控制在±0.5℃范围内，通过CFD流体仿真优化风道结构，解决传统烘箱边缘效应问题
洁净度保障体系配备HEPA+ULPA双重过滤系统，颗粒物控制达ISO Class3标准，腔体采用电抛光不锈钢材质，表面粗糙度Ra≤0.4μm
能效比突破引入余热回收装置降低30%能耗，红外辐射加热模块响应速度＜5秒，较传统电阻加热节能42%
智能化升级集成MES系统接口实现配方云端管理，配备AI温度预测模型，可提前15分钟预警温漂趋势
特殊工艺适配开发氮气环境烘烤模式（氧含量＜10ppm），支持Invar钢载具的磁性定位加热，满足3D封装工艺需求
