二、产品简介
为检验高纯度制程气体中的微量含氧，以确保制程气体的纯度，避免管路泄漏破损渗入大气中的氧气破坏制程品质，增进制程良率，并依各制程对制程气体管路含氧量之要求，进行必要之测试设备。
三、产品特色
使用顶尖气体感测技术核心燃料电池式微量氧
感测元件，具准确度高及反应速度快，不需特别
保养等特性。
. 适用于氮气、氢气、氩气等还原性气体中微量氧
的侦测。
. 採用4.3”TFT大萤幕显示，可同时显示含氧量、
日期、时间等参数。
. 于全量程范围内可任意设置警报点上、下限。
. 自动记录随时间的氧浓度变化曲线。
. 输出4~20mA标准信号；标准RS485/RS232(选用)
通讯口，可连结RJ45网路、Bluetooth、MicroSD
及USB与电脑双向通讯。
四、产品规格
描述
过程微量氧分析仪
量程
0-1000ppm.
(0-10ppm,0-50ppm,0-100ppm,0-500ppmppm)
分辨率
0.05ppm
响应时间
T90<20s
稳定时间根据测试环境
操作环境温度范围
32ºF to 104ºF (0ºC to 40ºC)
电压范围
DC16~28V
输出信号
4-20mA/RS485/RJ45/蓝牙/ZIGBEE无线物联网
气体流量
500ml/min
气体压力
0.1Mpa
被测气体温度范围
32ºF to 104ºF (0ºC to 40ºC)
继电器输出
5A at 110 or 220 VAC
3A at 30 VDC
故障保护
显示屏尺寸
4.3寸 TFT；160x160x300mm
