手动晶圆切割贴膜机STK-710

  • 发布时间:2021-04-13 13:44:18,加入时间:2012年07月18日(距今4672天)
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手动晶圆切割贴膜机STK-710规格参数:

晶圆尺寸:4”,5”,6”&8”晶圆;

厚度:150 ~750 微米;

晶圆种类:硅、砷化镓或其它材料;

              单边,双边,V 型缺口

膜种类:蓝膜或者 UV 膜;

           宽度:210~300 毫米;

           长度:100 米;

           厚度:0.05~0.2 毫米;

晶圆承载环:6”DISCO 或者 K&S 标准;

                 8”DISCO 或者 K&S 标准;

                 客户制定标准;

贴膜原理:防静电滚轮贴膜;

晶圆台盘:通用(一体式)特氟隆防静电涂层接触式台盘;或硅胶台盘;或多孔金属台盘;或陶瓷台盘;

装卸方式:晶圆/承载环手动放置与取出;

防静电控制:防静电特氟隆涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/除静电离子发生器;

切割系统:手动轨迹式圆切刀和直切刀;

晶圆定位:通用标线/弹簧定位销;

控制单元:基于 PLC 控制,并配有 5.7”触摸屏;

安全防护:配置紧急停机按钮;

电源电压:单相交流电 220V,6A; 

压缩空气:5 公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟 80 升/分钟;

机器外壳:白色喷塑金属外壳;

体积:560 毫米(宽)x880 毫米(深)x500 毫米(高); 

净重:80公斤;

手动晶圆切割贴膜机性能:

晶圆收益:≥99.9%; 

贴膜质量:没有气泡(不包括灰尘颗粒气泡);

每小时产能:≥ 80 片晶圆;

更换产品时间:≤ 5 分钟;

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